应用 | 半导体行业中常见聚合物分析

前言

近年来，人工智能（AI）发展迅猛，为科研、工作以及日常生活带来了极大便利。AI的兴起离不开半导体行业的支撑，"AI + 半导体"可谓双向奔赴：AI为半导体行业带来了巨大的算力需求与广阔的应用场景；而半导体技术的进步，又是AI发展的物理基础。在半导体生产过程中，需要用到多种高分子材料，本文将介绍Shodex GPC色谱柱在半导体高分子材料分析中的应用。

色谱柱介绍

Shodex GPC KF-800和KD-800系列是油溶性尺寸排阻色谱柱，出厂溶剂分别是THF和DMF。适用于使用有机溶剂作为流动相进行有机物和低聚物的分离以及高分子的分子量分布测定。Shodex有一系列排阻限不同的产品，可以根据样品的分子量范围进行选择。

此外，LF-804也是使用THF作为出厂溶剂的色谱柱，对于聚苯乙烯（PS）标准品的线性分析范围是300-2,000,000。LF系列的特点是采用细孔分布范围广（细孔多分散型）的填料，在一定范围内可以获得没有拐点的高线性标准曲线，能对很宽范围的分子量进行分析。

注意：以下实例中的色谱柱型号仅为实验所用，并非适用于该类样品的所有情况。实际分析时，请根据待测样品的分子量大小选择合适型号。

01 聚偏氟乙烯（PVDF）

- 材料信息

聚偏氟乙烯（PVDF）是一种含氟热塑性塑料，主要用于超纯水管道、片材内衬、粉末涂层、高纯度化学管道及配件中。

- 样品信息

进样量：200 μL

样  品：0.25% PVDF

- 实验谱图

* 本图谱代表一次实验结果，仅供参考。

- 分析条件：

02 聚醚醚酮（PEEK）  

- 材料信息

聚醚醚酮（PEEK）是一种高性能特种工程塑料‌，主要用于排气管道涂层、化学机械抛光处理（CMP）保持环和蚀刻腔体组件、晶圆搬运设备中。

- 样品信息

进样量：50 μL

样  品：两种PEEK样品，浓度各0.2 %

- 实验谱图

* 本图谱代表一次实验结果，仅供参考。

- 分析条件：

- - - -注意事项

GPC K-806M已经终止销售，请选择同类型的GPC KF-806M（出厂储存溶剂：THF），置换成氯仿或者其他适当溶剂后再使用。

03聚酰胺酸（PAA）

- 材料信息

聚酰胺酸一种线性高分子聚合物，也是合成聚酰亚胺（PI）的前驱体。而聚酰亚胺（PI）是一种十分重要的聚合物新材料，常用于①先进封装材料：作为缓冲涂层/钝化层、再布线层，②晶圆载具、芯片托盘，③半导体设备的高温绝缘件，④光刻与图案化等。

- 样品信息

进样量：100 μL

样  品：聚酰胺酸

- 实验谱图

* 本图谱代表一次实验结果，仅供参考。

- 分析条件：

- 注意事项

聚酰胺酸是既含有正电荷又含有负电荷的离子型聚合物。如下是使用NMP做流动相和使用添加了LiBr的磷酸做流动相的图谱比较。添加了LiBr后，能够抑制离子性相互作用，得到良好的峰型。

04聚碳酸酯（PC）

- 材料信息

聚碳酸酯（PC）是一种无色透明、高抗冲击性的热塑性工程塑料‌，主要用于①晶圆包装与运输载具，②光罩保护盒，③芯片封装与测试环节的晶片托盘和芯片载带，④半导体设备与洁净室设施等。

- 样品信息

样  品：聚碳酸酯

- 实验谱图

* 本图谱代表一次实验结果，仅供参考。

- 分析条件：

05 聚砜树脂（PSU）

- 材料信息

聚砜树脂（PSU）是一种无定形热塑性工程塑料，主要用于①晶圆载具与芯片托盘，②半导体测试治具与精密零件，③过滤系统，④光刻与封装材料，⑤密封与垫圈等

- 样品信息

聚砜树脂

- 实验谱图

* 本图谱代表一次实验结果，仅供参考。

- 分析条件：

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